ZT61 デジタル圧力計
ZT61 デジタル圧力計
【2線式：2024年3月29日生産中止】
半導体ガス供給系の1.125集積化システムに対応したデジタル圧力計です。視認性に優れたLEDデジタル表示+コンパレータ出力+アナログ出力（電流または電圧）を装備。
実績があるCo-Ni系合金及びSUS316Lセンサを使用し、信頼性、耐久性に優れております。
半導体ガス供給系の1.125集積化システムに対応したデジタル圧力計です。視認性に優れたLEDデジタル表示+コンパレータ出力+アナログ出力（電流または電圧）を装備。
実績があるCo-Ni系合金及びSUS316Lセンサを使用し、信頼性、耐久性に優れております。
認証規格：
特長
・コンパレ－タ＋３線式出力を備えたLED表示一体型デジタル圧力計です。
・金属ダイアフラム上にPCVDプロセスにより歪ゲージを形成しているため、耐久性に優れています。
・SUS316Lの継手部に、直接Co-Ni系合金又は、SUS316L製の高耐食圧力センサを溶接することにより、耐食性、
気密性、長期安定性、信頼性に優れています。
・金属ダイアフラム上にPCVDプロセスにより歪ゲージを形成しているため、耐久性に優れています。
・SUS316Lの継手部に、直接Co-Ni系合金又は、SUS316L製の高耐食圧力センサを溶接することにより、耐食性、
気密性、長期安定性、信頼性に優れています。