ZT67 半導体産業用小形デジタル圧力計
ZT67 半導体産業用小形デジタル圧力計
・半導体設備機器（真空チャンバー、ドライポンプ）・ガス供給ライン用途（シリンダーキャビネット、集積化ガスパネル）
ZT67は、高信頼の圧力センサを搭載し、従来のデジタル圧力計よりもさらに小さく、さらに見やすく、グレード別にラインアップした半導体産業用の小形デジタル圧力計です。UCグレードから一般用まで測定ガスに合わせて幅広く選定できます。
認証規格：
特長
・SUS316Lの継手部に、直接Co-Ni系合金又は、SUS316L製の高耐食圧力センサを溶接することにより、耐食性、
気密性、長期安定性、信頼性に優れています。
※接ガス部材質が測定する気体に適合したものであることをご確認ください。
・小形□30mmサイズ
・文字高さ10mmの大型LED
・独立２出力のコンパレータ
・豊富なフィッティングバリエーション
気密性、長期安定性、信頼性に優れています。
※接ガス部材質が測定する気体に適合したものであることをご確認ください。
・小形□30mmサイズ
・文字高さ10mmの大型LED
・独立２出力のコンパレータ
・豊富なフィッティングバリエーション