ZT16 半導体産業用圧力トランスミッタ
ZT16 半導体産業用圧力トランスミッタ
（1.125 集積化対応）
ZT16圧力トランスミッタは、半導体製造用ガス供給集積マウントに対応しております。W-SealとC-Seal表面実装インタフェースの両方で利用可能です。信頼性、耐久性に優れた実績のあるCo-Ni系合金又は、SUS316Lをセンサ素子の材質に用いております。ガスパネル、バルブ分岐ボックス等への応用が可能です。
認証規格：
特長
・ZT16は小形化されたことにより、1.125表面実装インターフェイス等の狭い表面積への取付けが可能です。
・ZT16は金属ダイアフラムの上にPCVDプロセスによりゲージを形成しているため、耐久性に優れております。
・SUS316Lの継手部に、直接Co-Ni系合金又は、SUS316L製の高耐食圧力センサを溶接することにより、耐食性、
気密性、長期安定性、信頼性に優れています。
※接ガス部材質が測定する気体に適合したものであることをご確認ください。
・ZT16は金属ダイアフラムの上にPCVDプロセスによりゲージを形成しているため、耐久性に優れております。
・SUS316Lの継手部に、直接Co-Ni系合金又は、SUS316L製の高耐食圧力センサを溶接することにより、耐食性、
気密性、長期安定性、信頼性に優れています。
※接ガス部材質が測定する気体に適合したものであることをご確認ください。