ZT15z 圧力トランスミッタ（1.5 集積化対応）
ZT15z 圧力トランスミッタ半導体産業用（1.5 集積化対応）
本器は、蒸着形半導体歪ゲージを用いた検出部と内蔵の電子回路とで圧力を電気信号に変換し伝送する半導体産業用の圧力変換器です。半導体製造用ガス供給系の1.5集積化システムに対応し、ガスパネル、バルブ分岐ボックス等への応用が可能です。高純度ガス用のUC・EPグレ－ドと、気密性を損うことなく、コストダウンに対応したGPグレ－ドがあります。
認証規格：
特長
・1.5集積マウントへの取り付けが可能です。
・SUS316Lの継手部に、直接Co-Ni系合金又は、SUS316L製の高耐食圧力センサを溶接することにより、耐食性、
気密性、長期安定性、信頼性に優れています。
※接ガス部材質が測定する気体に適合したものであることをご確認ください。
・ガスが滞留するデットゾーンがほとんどありません。
・SUS316Lの継手部に、直接Co-Ni系合金又は、SUS316L製の高耐食圧力センサを溶接することにより、耐食性、
気密性、長期安定性、信頼性に優れています。
※接ガス部材質が測定する気体に適合したものであることをご確認ください。
・ガスが滞留するデットゾーンがほとんどありません。