KL92 薬液対応圧力トランスミッタ

2024年08月28日更新

薬液対応のOリングレス構造半導体製造装置向け

本器は、フッ素樹脂ダイアフラムシール式の圧力トランスミッタです。Oリングレス構造の採用でコンタミの発生、
金属溶出が少なく、半導体製造装置分野の圧力監視用途に対応します。

認証規格：

・接液部は、オールフッ素樹脂製(PFA、PTFE)で、コンタミの発生が少ない構造となっています。
・フッ酸等の腐食性薬液に対しても耐性が向上しました。
・ケース保護構造はIP54で、小型・樹脂ボディでウェットステーション用途の要望に応えました。