CB14 半導体産業用圧力スイッチ
CB14 半導体産業用圧力スイッチ
本器は、半導体製造に不可欠な各種ガス専用に開発した簡易な構造の小形・軽量な圧力スイッチであり、直接機器に取付けて使用されます。
製造工程においては、清浄度・気密性も十分な配慮がなされ、厳密な品質管理と性能試験を経て供給しますので、半導体プロセスガスに適しています。
製造工程においては、清浄度・気密性も十分な配慮がなされ、厳密な品質管理と性能試験を経て供給しますので、半導体プロセスガスに適しています。
認証規格：
特長
・小形・軽量で取付スペースの限られている場所などに、便利です。
・圧力設定が容易に行えます。
・マイクロスイッチに余分な負荷がかからない構造であるため、安定した制御が行えます。
・クリーンベンチ（クラス100）及びクリーンルーム内において洗浄・組立作業を行い清浄度を確保しています。
また十分な脱脂洗浄を行い、禁油・禁水処理※1を施すと共に、製品完成後は無塵ポリエチレン密封包装を実施
しております。
・ダイアフラム式の接ガス部は電解研磨処理を施してあります。
※1 現品への表示はありません。
・圧力設定が容易に行えます。
・マイクロスイッチに余分な負荷がかからない構造であるため、安定した制御が行えます。
・クリーンベンチ（クラス100）及びクリーンルーム内において洗浄・組立作業を行い清浄度を確保しています。
また十分な脱脂洗浄を行い、禁油・禁水処理※1を施すと共に、製品完成後は無塵ポリエチレン密封包装を実施
しております。
・ダイアフラム式の接ガス部は電解研磨処理を施してあります。
※1 現品への表示はありません。