GW35・GW45 半導体産業用圧力計
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GW35・GW45 半導体産業用圧力計
半導体ガス集積化プロセス向
半導体高純度ガス、及び腐食性ガスの雰囲気等の条件下でも優れた性能を発揮します。
気密性・洗浄度に対しても充分考慮して製作されており、半導体プロセス等、特に高純度流体向けに適した圧力計です。
気密性・洗浄度に対しても充分考慮して製作されており、半導体プロセス等、特に高純度流体向けに適した圧力計です。
認証規格：
特長
・ブルドン管・接続部・ケース・内機等主要部品がステンレス製ですので、測定体はもちろん、雰囲気に対しても
耐食性に優れています。
・接ガス部の溶接は、アルゴンアーク溶接を行い、さらに耐圧・気密検査の実施等、厳重な品質管理の下で製作して
おります。
＊圧力計を選定される際は、性能を十分発揮できるよう、常用圧力の上限が以下の範囲となるように圧力レンジを
選定してください。
定圧力の場合：圧力レンジの最大値の3/4以下
変動圧力の場合：圧力レンジの最大値の2/3以下
また記載の接ガス部材質が測定流体に適合したものであることをご確認ください。
詳しくは、JIS B 7505-1をご覧ください。
耐食性に優れています。
・接ガス部の溶接は、アルゴンアーク溶接を行い、さらに耐圧・気密検査の実施等、厳重な品質管理の下で製作して
おります。
＊圧力計を選定される際は、性能を十分発揮できるよう、常用圧力の上限が以下の範囲となるように圧力レンジを
選定してください。
定圧力の場合：圧力レンジの最大値の3/4以下
変動圧力の場合：圧力レンジの最大値の2/3以下
また記載の接ガス部材質が測定流体に適合したものであることをご確認ください。
詳しくは、JIS B 7505-1をご覧ください。